ALICAT 氣體質量流量計-抗腐蝕型

ALICAT 氣體質量流量計-抗腐蝕型20S系列

產品特色

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：優于0.5%

● 量程可測比1%-100%

● 響應時間快，僅需10 ms

● 內置130種常規以及腐蝕性氣體

● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術指標

介質要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類    內置了130種氣體，請參考背面

                   一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程     從0-0.5 SCCM   到   0-5000 SLPM

最大顯示流量    128 %滿量程

顯  示  屏    帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）

高  精  度    ±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程），選配

                   僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復  性    ± 0.2 %滿量程

質量流量零點和滿量程溫度漂移    0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質量流量零點和滿量程壓力漂移    ±（0.08% 讀數+ 0.02% 滿量程）

                  （從校準壓力開始）

響應時間    10 ms

預熱時間    ＜1 s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ±0.75℃

工作濕度    0 ～100 %，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa  表壓

最di操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 

                其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.5%滿量程

極限耐壓    1.1MPa  表壓，進出口最大瞬時壓差可為0.5 MPa

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；

                模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、                    

                   Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差

供電電壓     9 - 24VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為12 - 24 VDC ）

供電電流     40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質     316L不銹鋼、FFKM（標準)

                   可根據特殊氣體選用FKM、EPDM、Buna

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）