ALICAT低壓損氣體質量流量控制器

ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器21W系列

產品特色

●  數字化產品

●  多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  多參數可控：質量流量、體積流量和壓力

●  可選高精度：可優于0.5 %讀數

●  量程可控比寬，0.5~100 %滿量程

●  滿量程超低壓損最di為480 Pa

●  閥門響應時間快，優于100 ms

●  內置98種氣體

●  可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度      ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質量流量高精度         ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復性                       ±（0.1%   讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量零點漂移      ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差

                                  ± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質量流量量程漂移      ± 0.01% 讀數 / ℃溫差

                                  ± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考氣體兼容表

                   一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程     從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可控比    0.5～100%滿量程

最大顯示流量    128 %滿量程            

最大可控流量    102.4 % 滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）  精度升級部分見左下角

                  ±（0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數誤差

重  復  性    ±（0.2 %讀數+0.02 %滿量程）

質量流量溫度零點和滿量程漂移    0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質量流量壓力零點和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數+ 0.02 % 滿量程）/ Atm

                 （從校準壓力開始）

控制響應時間（T63，用戶可調）     小閥門：30 ms；R閥門：150 ms

顯示響應時間     127 ms（用戶可調）            

預熱時間    ＜ 1 s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）  

閥門功能     常閉型

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃                        

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    0.3 MPa表壓，進出口最大允許瞬時壓差70 Kpa

最di操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 

                   其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ± 0.75 %讀數（＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@19200波特率；模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT

                   EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU（RS232 / RS485）

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    12 - 30 VDC 

供電電流     250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢），額外加 40 mA（4-20 mA）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質    302、303、304、430FR不銹鋼、Viton、硅橡膠、環氧樹脂、

                   玻璃增強聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、銅、金

                   R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過程連接    詳情參考壓損表

安裝位置    小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護等級    IP40

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）