半導體氣體分析儀OPTI-Sense系列傳感器建立在非色散紅外測量法基礎上,能夠精確測量半導體應用中產生的特種氣體的紅外光譜吸收。該儀器設計緊湊,且無移動部件,適合在半導體工業流程中用于連續的...
內置的診斷系統包含在軟件當中。全部OPTI-Sense系列傳感器都配有模擬和數字交互,使得它們可以簡單的整合進任何工業流程。
半導體氣體分析儀支持的氣體
SiF4
CF4
SiF3
SF6
CO
NF3
CO2
WF6
和其他氣體
半導體氣體分析儀規格參數測量原理 :非色散紫外吸收法
應用 :現場測量
光源 :脈沖紅外發射器
材料 :抗腐蝕的光學元件,
不銹鋼接觸液體的部件
尺寸 (高x寬x長) :5.00" x 8.75" x 3.25" (包含光源和探測器)
重量 :< 5 lbs
模擬輸出 :出廠設置為 0 – 1, 5, 或 10 volt
數字交互 :RS-232 C和可選的GUI交互
響應時間 :< 10秒
電源 :15 VDC – 小于 10 瓦特 (可選AC 電源)
采樣端口 :KF16 – 304 SS (可選其他選項)
校零 :支持遠程校零
漏氣測試 :真空密封測試
軟件 :嵌入 (標準) - Labview GUI 交互(可選)
認證 :CE
保修 :1 年
半導體氣體分析儀特征
NDIR 非色散紅外測量法
適用于任何吸收紅外光的氣體
響應時間快
高敏感度
氣體特異性
無耗材
無移動部件
GUI LabView軟件(可選)