更新時間:2022-10-30
臭氧傳輸系統ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統為要求最高的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統整合wan全,操作簡單,能夠方便的與絕大多數半導體機臺聯動,插入即可使用。該系統基于微處理器的控制器能夠根據用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送
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臭氧傳輸系統ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統為要求最高的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統整合wan全,操作簡單,能夠方便的與絕大多數半導體機臺聯動,插入即可使用。該系統基于微處理器的控制器能夠根據用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險。
臭氧傳輸系統規格