超純級壓力傳感器

UNIK5000P

超純級壓力傳感器

在半導體器件的生產(chǎn)過程中，壓力這一物理量的測量、校準及控制是許多制程的關(guān)鍵組成部分。德魯克是壓力測量行業(yè)的品牌，經(jīng)過逾半個世紀的積累，我們在包括半導體行業(yè)在內(nèi)的諸多行業(yè)中積累了豐富應用經(jīng)驗。

德魯克面向半導體等行業(yè)的超純介質(zhì)壓力測量應用推出了超純壓力傳感器，該系列的核心設(shè)計源于經(jīng)典的UNIK5000系列。數(shù)十年來，該系列壓力傳感器在各類對性能及可靠性要求嚴苛的應用，例如航空航天、發(fā)動機測試及其他工業(yè)壓力測試等領(lǐng)域中獲得了廣泛認可。

同時，UNIK5000P系列超純壓力傳感器采用專用生產(chǎn)及包裝制程，以確保所需的超純、無油特性得以滿足?；诖罅繎玫姆答伣Y(jié)果，該系列擁有優(yōu)良的可靠性和穩(wěn)定性。融合了高精度、高穩(wěn)定性以及低成本特性的UNIK系列超純壓力傳感器業(yè)已得到諸多用戶的認可。

應用行業(yè)

·半導體、太陽能、液晶面板制造設(shè)備等·超純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)壓力測量

應用介質(zhì)

·超純及有毒等特種介質(zhì)

特點

量程最大可5000psi

綜合測量精度可達士0.2%FS BSL

補償溫度范圍可達-40 ~+125°C

硅壓阻敏感元件，年穩(wěn)定性士0.05%FS，具備高可靠性

快速響應時間，上電時間小于30ms

具備完整的半導體工藝過程壓力接口選項

接液部分采用EP電解拋光，Ra<0.13μm(RA5)，符合SEMI F19

適用于與316L不銹鋼和哈氏合金C276兼容的超純流體，接液部分材質(zhì)符合SEMIF20，VIMNAR材質(zhì)可選

接液部分脫脂清洗，產(chǎn)品采用雙層真空包裝

·危險區(qū)域認證可選